Principiul de funcționare al mașinii de acoperire în vid

O mașină de acoperire în vid este un dispozitiv care depune pelicule subțiri de metal pe suprafața unui substrat. Principiul său de lucru de bază este împărțit în trei etape: curățare, evaporare și depunere.
1. Curatenie
Înainte de depunerea prin evaporare, camera de evaporare trebuie curățată. Deoarece pot exista oxizi, grăsimi, praf și alte substanțe atașate la suprafața camerei de evaporare, acestea vor afecta calitatea filmului. Curățarea folosește de obicei metode chimice sau fizice.
2. evaporare
Materialul dorit este încălzit peste punctul său de topire, astfel încât să formeze molecule gazoase. Moleculele gazoase sunt apoi evacuate în camera de vid în camera de evaporare. Acest proces se numește evaporare. Temperatura, presiunea și viteza de evaporare afectează compoziția, structura și proprietățile filmului.
3. Depunerea
Moleculele gazoase ale materialului din camera de evaporare intră în camera de reacție prin conducta de vid, reacționează cu materialul activ și apoi depun produsul pe suprafața substratului. Acest proces se numește sedimentare. Temperatura, presiunea și viteza de depunere afectează, de asemenea, calitatea și performanța filmului.
2. Aplicare
Mașinile de acoperire în vid sunt utilizate pe scară largă în știința materialelor, optică, electronică și alte domenii.
1. Știința materialelor
Mașinile de acoperire în vid pot prepara pelicule subțiri din diferite metale, aliaje, oxizi, silicați și alte materiale și sunt utilizate pe scară largă în acoperiri, filme optice, depozitare optică, afișaje, tranzistoare și alte domenii.
2. Optica
Mașina de acoperire în vid poate pregăti filme metalice și aliaje cu reflectivitate ridicată și filme optice cu funcții speciale. Aceste filme pot fi utilizate în panouri solare, microscoape electronice de înaltă performanță, aerogeluri, senzori UV/IR, filtre optice și alte domenii.
3. Electronică
Mașinile de acoperire în vid pot pregăti materiale electronice la scară nanometrică și dispozitive microelectronice. Aceste filme pot fi utilizate în nanotranzistori, memorii magnetice, senzori și alte câmpuri.
Pe scurt, mașina de acoperire în vid poate nu numai să pregătească diverse materiale de film subțire, ci și să pregătească pelicule subțiri cu funcții speciale după cum este necesar. În viitor, tehnologia de acoperire în vid va fi utilizată și promovată mai pe scară largă.